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虹科技術|高功率UV-LED點光源

2023-01-05

瀏覽量(1282)

UV-LED 是輸出波長為紫外區域的發光二極管,波長范圍大致為200~380nm。UV-LED具有能效高、壽命長、節能環保、使用靈活方便的特點。與低壓汞燈、中高壓汞燈、氙燈和準分子燈其他紫外光源相比,UV-LED光源具有輻射效率高,工作速率快、工作壽命長(1-2萬小時)、環境友好不含汞、熱輻射小等優異的特性。因此,UV-LED逐漸代替傳統紫外光源,成為了主流的光源結構。

由于紫外線光量子具有較大的能量,因此紫外光可廣泛地應用于光刻、固化、曝光等改變成分的場景。

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紫外固化

紫外線固化和紫外線粘接當紫外線照射時,光敏劑吸收紫外光,使單體處于激發狀態。 激發的單體通過聚合反應固化為聚合物。

紫外線曝光

在光刻膠膜中發生的化學過程導致其在顯影液中溶解度的增加(正膠)或減少(負膠),從而可以產生出特定結構光刻膠膜。

光功能分子

光功能分子可以重復光引起的結構變化,因為分子在照射紫外光時會做出反應,導致結構變化,但在不同波長照射光時結構會恢復。


在實際的工業生產、科研場景和半導體制造過程中,一些場景往往需要高功率UVLED光源以保證最終的生產效果。

紫外線固化

將電子元件/汽車零件的固化、相機鏡頭/針頭集成到、自動生產線

激勵光源

熒光顯微鏡、熒光分析、生命科學

紫外線照射

光刻、檢測設備的嵌入式、表面/外觀檢測

高功率 UVLED光源能夠輸出高功率、高穩定性的光,平穩地控制輸出波長和功率,可滿足生產線安裝,研發過程中的高性能化學和物理過程的研究,呈現出快速且穩定的固化過程。

虹科高功率UVLED點光源是先進的紫外發光二極管光引擎,采用“UV-LED、電源和冷卻系統”的集成結構,可實現多個大功率 UV-LED 安裝,實現業界高功率輸出。

優勢:

  • 實現光譜模塊化
    完全靈活地組合和選擇可用的波長,適用于各種紫外線應用場景

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多波長組合型紫外光源的優點:
創建新的固化工藝以提高性能
深度固化,實現高聚合度,提高結合強度

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  • 更改照射范圍

由于虹科UVLED光源是點光源類型的,因此通過“改變鏡頭和工作距離”,可以自由改變照射范圍。除了支持表面發射外,還可以將高功率光照射到狹窄區域進行冷凝。 此外,由于區域是均勻的,因此可以均勻地執行任務。

可選配件:

a. 單級或多級液體光導

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b. 聚光/聚焦光學器件

各種聚光和聚焦光學器件可用于方形、六角形或圓形曝光。

其他均質化光管可根據要求增強均勻性。

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產品介紹

虹科ALE/1

ALE/1是代替以往的放電燈的高輸出、高穩定的LED光源裝置,先進的UVLED光引擎最多可內置5種LED,可輸出多個波長(365nm,385nm,405nm,435nm)。LED模塊易于更換,可靈活應對應用程序更改。

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特點:

  • 高達30W光輸出

  • 定制光譜成分(紫外線、可見光、近紅外線

  • 適應未來需求且具備顯著所有權成本優勢的無汞光源

  • 閉環控制輸出、以實現最大過程穩定性

  • 易于集成到新的和現有設置中、無需外部冷卻

應用:

  • 半導體制造(曝光機、先進封裝投影光刻機、晶圓邊緣曝光、光掩模檢查等)?

  • 點固化在汽車、電子、光電子、制藥等行業的應用?

  • 質量保證和檢查(NDT)

  • 生命科學領域的應用

虹科ALE/3

ALE/3是代替以往的水銀燈的高輸出LED紫外線光源裝置,可內置2種LED,可同時輸出多個波長,是粘合劑硬化及半導體晶片的周邊曝光等應用中有效光源方案。

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特點:

  • 高達15 W光輸出?

  • 可選擇單光譜設置(365、385、405或435nm)和多光譜設置(365和405nm)

  • 適應未來需求且具備顯著所有權成本優勢的無汞光源

  • 易于集成到新的和現有設置中、無需外部冷卻

應用:

  • LED光源替代200W汞燈的完美解決方案

  • 點固化在汽車、電子、光電子、制藥等行業的應用

  • 晶圓邊緣曝光(WEE)在半導體制造行業的應用

  • 質量保證和檢查(NDT)

  • 生命科學領域的應用


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