專家講座 | “非典型”定量相位成像技術及其 3D 納米量測應用
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光,即可能性本身。如今,光子技術的應用在我們的社會生活中已無處不在。濱松立足核心光子技術,以期助力世界光產業的開拓。然而僅憑我們自己是無法做到的,需要與萬千光之大道上的同行者們一起,探尋未知未涉。
自改革開放初期,濱松即于新中國初代光學專家們建立起了深厚的友誼,如王大珩先生、母國光先生等等。對于推動我國光子基礎及應用技術持續發展的一代又一代科研工作者們,濱松始終飽含敬意,并希望通過自身的力量,為其助力。為此,濱松中國計劃廣邀國內光技術、光應用相關的專家學者們,開辦系列講座——“濱松講堂·青年學者科技論壇”,暢懷分享具有引領性、創新性的科研進展,以及熱門的產研結合話題。希望通過建立廣泛的影響,增加諸多高價值科研成果的呈現,或為產研聯系創造交流平臺。
講座題目
“濱松講堂·青年學者科技論壇”第一期,我們有幸邀請到了華中科技大學機械學院朱金龍教授,為我們帶來“非典型”定量相位成像技術及3D納米量測應用分享。
講座時間:2024年8月8日,14:30,在線直播

專家簡介:朱金龍,華中科技大學機械學院教授。入選國家海外高層次青年人才、湖北省海外高層次人才、武漢市海外高層次人才、華為“東湖學者”等人才計劃。主要研究方向為光電子納米尺度探測技術與裝備、光電集成器件的設計與制造技術、工業三維測量技術與裝備。以第一作者、通訊作者在包括Nature Communications、Advanced Science、ACS Nano、Nano Letters、Nanoscale Advances、Advanced Photonics Research、Optics Letters等期刊和國際頂會上發表論文60余篇。已獲美國、國內授權專利20余項?,F任IJEM期刊編委、Frontiers in Physics期刊編委、《光學學報》編委、ICOIM國際光學與顯微成像會議程序委員會共主席、ISMTII測量技術與智能儀器國際研討會程序委員會共主席、中國儀器儀表學會集成電路測量技術與儀器分會秘書長、機械工程學會極端制造分會委員會委員、中國光學學會光學測試專業委員會委員、中國光學學會光電技術專業委員會委員、中國空間科學學會空間智能專委會青年委員等。
講座摘要
隨著亞10 nm集成電路芯片逐步進入消費電子、互聯硬件、電子醫療設備等領域,由半導體制造設備所引入的晶圓缺陷對集成電路在良率與價格方面的影響將不斷顯現,由此帶來的對典型缺陷進行高速識別、定位與分類等制造過程控制環節,將變得越來越具有挑戰性。納米光子學、計算成像、定量相位成像、光學渦旋、多電子束掃描、熱場成像以及深度學習等新興技術的出現,在提升缺陷靈敏度、分辨率以及對比度等方面已初步展現出一定的潛力,這為晶圓缺陷檢測提供了新的可能性。
本報告將介紹報告人課題組近年來在新型光學相位成像領域的一些進展及其在集成電路圖形化缺陷檢測、微納米三維形貌測量、納米量級物理量表征等方面的運用。
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下期預告
系列活動第二期,我們邀請到了吉林大學電子科學與工程學院王磊副教授,帶來激光加工相關應用研究的報告?;顒訉⒃?月底舉行,敬請關注和期待。
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